Югары сафлыклы бакыр сиптерү максатлары – квадрат (4N-6N)
Югары чисталыклы бакыр сиптерү максаты – процесс һәм сыйфатны тәэмин итү турындагы белдерү
Безнең квадрат бакыр сиптерү максатлары алдынгы каплау процессларында ышанычлы юка пленкалы чүпләү өчен кирәкле төгәл стандартларга туры китереп җитештерелә.
Җитештерү югары чисталыкны һәм материалның тотрыклылыгын саклап калу өчен вакуум нигезендәге катгый контрольдә тотылган эш процессы буенча бара:
●Чимал сайлау: Башлангыч материал буларак бары тик сертификатланган электролитик бакыр катодлары (≥99.99%) кулланыла.
●Вакуум эретү: Югары вакуум яки инерт атмосфера астында индукцион эретү кислород җыюны һәм очучан катнашмаларны минимальләштерә.
●Кою һәм чистарту: Контрольле юнәлешле катыландыру бер төрле составлы һәм минималь аерылучан коелмаларны җитештерә.
●Кайнар эшкәртү: Чүкечләү яки кайнар пресслау ярдәмендә теоретик тыгызлыкка һәм камилләштерелгән бөртек структурасына ирешелә.
●Төгәл эшкәртү: CNC фрезерлау һәм тарту яссы, параллель өслекләр белән төгәл квадрат үлчәмнәр бирә.
●Өслекне эшкәртү: Күп баскычлы ялтырату чиста бүлмәләрдә куллану өчен яраклы көзге сыман бизәлеш бирә.
●Өстәмә бәйләнеш: Җылылык белән идарә итү өчен кулланыла торган молибден/бакыр аскы пластиналарга индий яки эластомер бәйләнеше.
●Соңгы чистарту һәм төргәкләү: Ультратавышлы чистарту ультра чиста суда, аннары ике катламлы чиста пакетларда вакуум белән ябыштыру.
Сыйфат контроле системасы
● Чимал катод партиясеннән әзер максатка кадәр тулы күзәтүчәнлек
● Һәр җибәрү белән материал сертификатлары һәм сынау отчетлары бирелә
● Өченче як тикшерүе өчен архив үрнәкләрен ≥3 ел саклау (SGS, BV һ.б.)
● Мөһим параметрларны 100% тикшерү:
• Чисталык һәм катнашмалар (GDMS/ICP-MS анализы; гадәти кислород <10 ppm)
• Тыгызлыкны үлчәү (Архимед ысулы; ≥99,5%)
• Бөртек зурлыгы һәм микроструктурасы (металлографик тикшерү)
• Үлчәм төгәллеге (CMM; яссылык типик ≤0.05 мм)
• Өслекнең тигезсезлеге һәм кимчелекләре (профилометр + визуаль тикшерү)
● Эчке спецификацияләр ASTM F68 таләпләреннән артып китә. Гадәти үзенчәлекләре: Җылылык үткәрүчәнлеге >390 Вт/м·К, Электр каршылыгы <1,7 мкΩ·см, Сиптерү тизлеге һәм пленка сыйфаты даими.
● Чиста бүлмә белән туры килә торган процесслар һәм ISO 9001:2015 сертификатлы корылма һәр максатның заманча PVD кушымталарының таләпчән ихтыяҗларын канәгатьләндерүен тәэмин итә.










